• 单(多)晶硅超纯水水质标准、工艺、应用领域


  • 单晶硅多晶硅超纯水设备制备工艺
      1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 (≥18MΩ.CM)(传统工艺)
      2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺)
      3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(最新工艺)
      4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(最新工艺)
      5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)

    单晶硅多晶硅超纯水设备应用领域
      ☆电解电容器生产铝箔及工作件的清洗 ☆电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液
      ☆显像管和阴极射线管生产、配料用纯水
      ☆ 黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水
      ☆液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液
      ☆晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制
      ☆ 集成电路生产中高纯水清洗硅片
      ☆半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路
      ☆LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏
      ☆高品质显像管、萤光粉生产
      ☆半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗
      ☆超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料
      ☆实验室和中试车间
      ☆汽车、家电表面抛光处理
      ☆光电产品、其他高科技精微产品

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