【方案分析】
目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：

　　1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

　　2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投资比采用离子交换树脂方式要高，但是可以大大延长离子树脂的再生周期，减少频繁的酸碱洗，减少酸碱药剂的消耗，但对环境还是有一定的破坏性。

　　3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目前制取超纯水，最环保工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。
【结束语】

由于每个水处理系统所处地理位置不同，其原水的成份不同；每个用户所生产的产品品种不同，对纯水的水质要求也不相同；加上用户对其水处理系统认识以及环境、经济条件的限制，每个水处理系统的工艺流程也不尽相同。列出具有代表性的水处理站的工艺流程似乎失去了意义，在此不作赘述。但是，水处理系统少不了其共性，即任何一套电子工业用纯水系统总包括如下组成：强大的前处理段、高效的去离子段、稳定的后处理段、可靠的监测控制系统、实用的辅助系统、经济有效的废水处理系统与认真负责的管理系统。这是电子工业用纯水系统的实际需要，也是它应有的设计理念。